SCSIディスクの延命
SCSI-SATAブリッジコントローラーに2.5インチSATA HDDを組み込んだオーダーメイドのSCSI HDD(新品)です。現在ご使用中のSeagate、Quantum、IBM、富士通製などのSCSIディスクと交換してご使用いただけます。
ニコンステッパー NSRシリーズ 制御コンピュータの延命化
VAXstation4000-90A/96、DMCC、AlphaServerDS15、MicroPDP11の完全互換コンピュータです。
東京エレクトロン P8・P8-XL用 2.5インチHDD
SDカード型 2.5インチ SCSIディスクです。
ERS社製AC3サーマルウエハーチャックシステム
★ 低温テストのキャパを増やしたい
★ 現在の設置レイアウトを変えずに低温テストの環境を増やしたい
★ 今後、低温でのテストが必要と考えている・検討している
など、低温プローバーの事でお困りではありませんか？
そんな時は、今あるプローバーを低温プローバーに改造しませんか？
① 常温プローバーから低温プローバー仕様へのシーリング作業（必要である場合）
② チャックヘッドの交換作業
③ チラーの設置作業
④ チャックヘッドとチラー及びプローバーへの接続作業
⑤ ランニングテスト
※ 参考作業日程：① 2日間 ②③④⑤ 3日間 トータル 5日間
• TSK：200mm UF190、UF200、UF2000
• TSK：300mm UF300、UF3000、Ex、Exe、LX、Omega etc.
• TEL：P8XL、Precio Octo
• TEL：P12XL、Precio、Precio XL
その他の機種に関してはご相談下さい。
チラーのサイズが“W422×D500×H1020”と小型の為、少スペースでチラーの設置が出来ます。 【チラー設置イメージ】
ERS社のAC3チャックシステムは、お客様がお持ちのUF190/200、Precio、P８/XL/P12などのプローバーにその場で取り付けて一体化し、ご使用いただけます。
AC3チャックシステムは広い温度範囲（-55℃～+300℃）、低ノイズ性能、非磁性、高電圧・高電流対応（500V～10KV）、エアーのみのチャッククーリング等の機能で、ウエハーテストの分野で高評価を得ています。
AC3チャックシステムに交換することで、既存のプローバーに必要なウエハチャック
機能を追加することが出来ます。これによりプローバーの性能アップと延命化を実現することが出来ます。
スペクトラフィジックス、コヒーレント、JDSUライトウェーブのレーザーを再生修理
スペクトラフィジックス、コヒーレント、JDSUライトウェーブのレーザーの再生修理を行います。
修理実績のあるレーザーは、KLA-Tencor SP2、PUMAシリーズ、アプライドマテリアルcomplus 4Tモデル、日立IS3000、ESI9200〜9830シリーズ、GSI M310・M320などの半導体装置用があり、修理実績のあるレーザーモデルにはスペクトラフィジックスヴァンガード355、MG532C、コヒーレントパラディン355などがあります。
UVランプ・UV照射装置（イレーサー）
（株式会社オーク製作所製）
ウルトラテックステッパー用1.2kw UVランプ、波長254nm UV光による電荷除去を目的としたUV照射装置 VUM-3500 を取り扱っております。
プローブカード
半導体製造工程のウエハー検査工程において、チップの良否を判定する検査用治具です。
外観検査・作業用光学実体顕微鏡、デジタルマイクロスコープ、非接触光学測定システム
（英国Vision Engineering Ltd. 製）
人間工学を追及したアイピースレス光学テクノロジー（特許取得済）は、高品質の3D立体イメージと観察者に優しい自由度の高い目と手のコーディネーションを提供し、外観検査や作業の質と効率化を実現します。
ステッパー用干渉計レーザー オーバーホール修理
・Relay AMP
・RENISHAW RLU20レーザー
・Zygo社製He-Neレーザー（モデル7701 / 7702）
・HP社製He-Neレーザー（5517B / C / D NO6）
Zygo770X用AOM部品の交換にも対応しております。
半導体製造装置関連の各種パーツ再生・修理、中古商品紹介
半導体関連の専門商社としてこれまで培ってきた専門知識や独自の国内外ネットワークにより、
迅速で確実な修理対応、中古品の紹介をご提供いたします。
（半導体製造装置関連の各種部品、基板、電源、ワークステーション・PCなど）
修理に困っているパーツやお探しのパーツ等、ございましたらお気軽にお問い合わせください。