再生修理 実績
①アプライド・マテリアルズ / ウェーハ検査装置(Complus Series) | |
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レーザーメーカー: Spectra physics(スペクトラ・フィジックス) レーザーモデル: 2W Green MG532C |
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②KLAテンコール / レーザースキャニングパターンウェハ欠陥検査(SP2、PUMA90xx/91xx) | |
レーザーメーカー: Spectra physics(スペクトラ・フィジックス) レーザーモデル: Vanguard 355 series |
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③KLAテンコール / 欠陥検査装置(T28xx/29xx Series) | |
レーザーメーカー: LaserLine(レーザーライン) レーザーモデル: LDM Diode Laser series、Discovery Machine |
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④日立ハイテク / 高感度、高速、暗視野ウエハ欠陥検査装置(IS3000) | |
レーザーメーカー: Coherent(コヒーレント) レーザーモデル: Paladin 355 series |
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⑤ルドルフ・テクノロジーズ / 薄膜測定装置(MP200/300 Series) | |
レーザーメーカー: Coherent(コヒーレント) レーザーモデル: Vitesse Laser |
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⑥セミラボ / ウェハ検査装置 | |
レーザーメーカー: Nufern(ニューファン) レーザーモデル: NQA-1064-NA、Fiber Laser |
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⑦GSIルモニクス / ESIレーザー System | |
レーザーメーカー: JDSU Lightwave(JDSUライトウェーブ) レーザーモデル: M110、M112 |